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マイクロ電気機械システム（MEMS）
このような半導体チップ内の流体センサー、ミラー、アクチュエータ、圧力および温度センサー、振動センサーやバルブなどの機械装置を埋め込む技術。
- قسم من أقسام الكلام: noun
- المجال / النطاق: البرامج
- الفئة: خدمة برمجيات العولمة
- Company: IBM
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- Sakura08
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